半導體產品的化妝水 - 矽氮產品 BDEAS Nov 12, 2024
*\公隆報報/*
今天要跟大家介紹這一種矽氮產品, 業界都稱他為BDEAS
低沉積溫度：BDEAS 可在相對較低的溫度 (100-300°C) 下進行 ALD 製程，這對溫度敏感的基板非常有利.
適當的反應性：BDEAS 與臭氧和氧等常見氧化劑反應良好，可形成 SiO2 薄膜.
良好的薄膜品質：而且可以生產出高品質、均勻的薄膜，厚度控制也可以很精準, 
並且也可以幫助 Hf 的薄膜層積上去, 增加高介電的薄膜效果 
*\中國塗料展攤位/*
12/3-12/5 廣州塗料展, 一館見
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